除了硬質(zhì)合金和鎢電極之外，光也是微孔加工的良好“工具”材料。雖然大多數(shù)用于鉆孔的激光都在紅外光譜中，但是一些大型機械加工廠也采用了帶有綠色光束的超脈沖技術(shù)。與其他種類的微處理光束不同，超級脈沖是納秒激光，綠色光束的波長為532 nm。這種技術(shù)產(chǎn)生一對激光脈沖，每對脈沖的持續(xù)時間為4至5納秒，間隔為50至100納秒。這項技術(shù)的加工方法使加工效率提高了一倍。與其他激光加工相比，這項技術(shù)大大提高了金屬去除率。因為這個激光脈沖很短，所以對工件材料的熱損傷已經(jīng)大大減少了。   

       精密機械零部件加工超脈沖激光加工空隙的最小直徑為45微米，但這種加工最常用于由H系列鋼材料制成的柴油噴油器中90微米至110微米的孔的加工。根據(jù)排放標準的要求，這些孔的直徑應(yīng)該減小到50到70微米，因為孔越小，燃料就能充分燃燒。

       此外，通過該技術(shù)加工的孔也具有負錐度，即入口直徑小于出口直徑，這有利于燃料的流動。精密機械零部件加工這項技術(shù)的另一個常見應(yīng)用是在航空渦輪葉片上制造冷卻孔。雖然葉輪只有1.5 mm到2mm厚，這個孔的入口角度應(yīng)該為25°，以允許冷空氣抵靠孔壁流動，并更好地冷卻它，也就是說，孔的長度將達到5 mm。溫度是航空發(fā)動機的主人，葉輪運行的環(huán)境溫度越高，燃料利用率越高，獲得的推進力越大。 

        為了增強這項技術(shù)的競爭力，大型機械加工廠家開發(fā)了一種專利材料，可以注入中空部分，以防止光束燒毀正在加工的孔下面的壁。整理后，這種材料可以完全去除。激光加工的一個缺點是光束總是在遇到另一個實體之前傳播，這將在加工柴油噴嘴時損壞相對壁的內(nèi)表面。 

      超脈沖處理設(shè)備的價格是65萬到80萬美元，雖然這比EDM設(shè)備的高，但是電極不會用于光加工?！凹す饧庸な褂霉庾鳛楣ぞ摺惫?jié)省了電極的費用。根據(jù)大型機械加工制造商的不同應(yīng)用，機械鉆孔、刀片銑削、電火花加工和光加工都在微孔加工中占有一席之地。